半导体薄膜沉积设备研发及生产项目_环境影响评价_建设项目环评报告表

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建设项目名称:

半导体薄膜沉积设备研发及生产项目

项目类别：

45--098专业实验室、研发（试验）基地

项目编号:

半导体薄膜沉积设备研发及生产项目